氟化非晶态碳膜相关论文
随着现代材料科学、生命科学以及医学科学的迅猛发展，生物材料在临床医学领域中的应用已日趋广泛。等离子体表面改性技术现已成为生......
为了研究基体负的低偏压Vb对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响,采用等离子体浸没与离子注入装置,CF4和CH4作为气源......
采用等离子体浸没与离子注入装置,以CF4和CH4作为源气体,在Si(100)基片上制备了含氟量不同的一系列氟化非晶态碳膜.通过XPS、FTIR......
