氢基团相关论文
介绍了利用逐层生长法(layer by layer)在等离子体化学气相沉积系统中制备纳米硅薄膜,着重介绍了制备纳米硅薄膜的沉积过程和生长机制。指了氢基......
本文综述了纳米硅薄膜制备新技术的进展。着重介绍了高氢稀释硅烷蚀刻法,微波氢基团增强化学气相沉积,逐层法和高频数值等离子体化学......
期刊