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氢稀释度D相关论文
低温工艺PECVD法制备多晶硅薄膜研究
单晶硅和多晶硅体太阳能电池成本居高不下,非晶硅和非晶硅薄膜太阳能电池又有光致衰退效应的困扰。多晶硅薄膜太阳能电池则兼具两者......
学位
RF-PECVD
磷掺杂多晶硅薄膜
μc-Si:H薄膜
氢稀释度D
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