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氦离子轰击器相关论文
氦离子轰击器的再释和溅射脱除效应研究
通过理论和四极质谱法(QMS)获得了氦辉光放电清洗时的氢释放特性和氦再释特性,氢在GDC(He)时的出气为双指数衰减规律,但壁脱附的衰减常数......
期刊
氦离子轰击器
溅射脱附效应
指数衰减
再释
氢释放特性
辉光放电
聚变装置
desorption
exponent attenuation
reemission
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