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氧化钒薄膜厚度相关论文
氧化钒薄膜的厚度对薄膜电学特性的影响
利用直流反应磁控溅射法在表面覆盖有Si3N4薄膜的Si(100)基片上制备了不同厚度的氧化钒薄膜。用光谱式椭偏仪对薄膜的厚度进行了测试......
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氧化钒薄膜厚度
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