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氧化锌铝薄膜相关论文

氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备

用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7％的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基......

会议

氧化锌铝薄膜溅射靶材沉淀法制备射频磁控溅射法平均透过率择优取向相对密度冷等静压常压烧结玻璃基体表面制备铝粉末可见光分析表化学

磁控溅射法制备氧化锌铝薄膜及其性能研究

目前应用最广泛的透明导电膜是铟锡氧化物薄膜(ITO),其制备技术是成熟的,但由于InSn等材料有自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳......

学位

ZAO靶材致密度透明导电薄膜磁控溅射

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