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氧沉淀形核相关论文

低温退火对重掺砷直拉硅片的氧沉淀形核的作用

通过对比研究重掺砷直拉硅片和轻掺n型直拉硅片经过低温(450—800℃)和高温(1000℃)两步退火的氧沉淀行为,阐明了低温退火对重掺掺......

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形核沉淀重掺砷直拉硅片择优腐蚀异质形核氧沉淀形核前驱对重空位复合体

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