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氧沉淀行为相关论文
直拉型Si单晶中金属杂质对氧沉淀行为的影响
本文研究了直拉型Si单晶中Cu和Fe杂质对氧沉淀行为的影响.尽管Si晶体中Cu杂质的浓度远高于Fe杂质,但发现Cu对氧沉淀行为没有影响,而Fe......
期刊
硅
氧沉淀行为
单晶
金属杂质
Epitaxial growthImpuritiesOxygenPrecipitation (chemical)Single c
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