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Ar^+背面轰击对肖特基势垒特性的影响
用低能量氩离子束轰击肖特基势垒二极管芯片背面,能有效减小反向电流和理想因子,增高势垒高度和减小势垒电容,对于较大的轰击能量和束......
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肖特基势垒
肖特基二极管
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氩背面轰击
Ion bombardment
MOSFET devices
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