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沉积硅粒相关论文
流化床法制备太阳能级多晶硅用沉积硅粒的性能研究
在流化过程中,为保证硅粒在流化床中分布状态良好,提高硅的沉积产率,同时要达到产生太阳能级纯度的多晶硅,对流化床中流化的硅粒的粒径......
期刊
流化床法
太阳能多晶硅
沉积硅粒
性能
Fluidized bed method
Solar polysilicon
Silicon particle pr
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