该文利用求解泊松方程的变分方法导出了表征器件短沟效应的自然沟长尺度表达式。均匀掺杂沟道体硅ＭＯＳＦＥＴ、该征掺杂沟道体硅ＭＯＳＦＥＴ和ＳＯＩＭＯＳＦＥＴ短沟效应数......