波长移相干涉仪相关论文
研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进......
高精度光学元件的应用需求推动着光学检测技术不断发展，光学检测技术水平决定着加工精度。相移干涉技术是高精度光学元件面形测量时......
文中主要开展了如下工作:首先,论文对波长移相技术的发展状况进行了概述,并总结了传统硬件移相技术的特点,分析了波长移相技术的优......
移相技术是当前光学件波面检测的重要技术方法，按移相方式可分为硬件移相技术和波长移相技术，其中以压电陶瓷实现移相为代表的硬件移......
叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围.......
