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活动掩膜法相关论文
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA......
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