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流-固藕合相关论文
划片机空气静压主轴静态与热态特性的有限元分析与实验研究
划片机是半导体生产后道工序的专用数控加工设备,空气静压主轴是其关键部件之一。随着高速、超精密技术的发展,对空气静压主轴的刚......
学位
空气静压主轴
有限元
流-固藕合
刚度
热变形
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