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深亚微米芯片技术相关论文
21世纪深亚微米芯片技术的新进展
着重介绍对微电子技术发展有重大意义的集成电路关键技术的进展情况.MOSFET结构的探索创新、高K和低K绝缘材料的开发运用、铜布线......
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