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深阱结构相关论文
采用深阱结构的耐压技术
讨论了基于深阱结构的提高器件击穿电压的技术.采用深阱结构的结终端技术,消除了平面工艺所产生的曲面结,从而使器件的击穿电压接......
期刊
深阱结构
击穿电压
结终端
反应离子刻蚀
峰值电场
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