添加气体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

添加气体相关论文

不同添加气体对SiC材料SF6干法刻蚀的影响

以六氟化硫（SF6）作为刻蚀气体，采用不同的添加气体O2或N2分别进行了SiC薄膜的等离子体刻蚀（PE）工艺研究。实验表明，SF6中加入O2有助于SiC......

期刊

添加气体等离子体刻蚀碳化硅六氟化硫干法刻蚀 Additive gas Plasma etching (PE) SiC film

介质阻挡放电和火花放电转化甲烷的研究

随着石油资源的日益枯竭和环境问题日益严重,以CH4为原料生产化学品的新途径越来越受到国内外学者的广泛关注。本文主要进行低温等......

学位

甲烷添加气体低温等离子体合成气高碳烃

看过本文同时还关注