清洗液温度相关论文
本文介绍了RCA清洗液组成、特点及清洗原理，研究在不同温度下,RCA清洗的SC-1溶液对颗粒去除的影响,得出工业生产中较合适的清洗温度......
超声波清洗在硅片生产中具有广泛的应用,影响超声波清洗效果的因素有很多,如清洗液温度、清洗液浓度等。为了研究清洗温度和清洗液......
采用光学表面分析(OSA)方法,研究了硅片湿法清洗工艺中清洗液SC1的浓度配比和温度对硅片表面颗粒和缺陷的影响。研究结果表明,当NH......
