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本论文系统地研究了镍铬硅-镍硅热偶传感薄膜的设计与制各工艺。采用离子束溅射方法镀制了以K9玻璃为基底的镍铬硅-镍硅薄膜热电偶......
在工业生产中,人们对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,而薄膜传感器的出现满足这一要求。薄膜温度传感器由于其优异的性能,在......
