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湿法再分布硼扩散相关论文
硼扩散机理及工艺应用技术研究
针对高效晶硅太阳电池对表面扩散掺杂技术的要求,阐述了干法硼扩散掺杂原理及弊端;通过引入湿法再分布扩散方式,分析了气体流量、......
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