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溅射-退火反应相关论文
金属保护层改善NiSi/Si肖特基势垒均匀性的研究
用溅射-退火反应的方法制作NiSi/Si肖特基二极管,采用Ti和Co两种金属保护层结构,以提高硅化物的形成质量.对肖特基二极管反向I-V特......
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肖特基接触
NISI
肖特基二板管
肖特基势垒
非均匀性
金属保护层
钛
钴
溅射-退火反应
镍硅化合物
Shottky contact NiSi Shottk
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