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溅射Ag薄膜相关论文
不同厚度溅射Ag膜的微结构及光学常数研究
用直流溅射法在室温Si基片上制备了 4 .9nm~ 189.0nm范围内不同厚度的Ag薄膜 ,并用X射线衍射及反射式椭偏光谱技术对薄膜的微结构和......
期刊
溅射Ag薄膜
微结构
光学常数
椭偏光谱
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