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电子束沉积法相关论文
红外增透膜研究
在8~12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD......
期刊
红外增透膜
电子束沉积法
DLC膜
非均匀膜系
broadband antireflection coating
electron-beam depositi
红外增透膜的研究
在8—12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PE......
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红外增透膜
电子束沉积法
DLC膜
非均匀膜系
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