电容衬度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

电容衬度相关论文

正带电绝缘膜的二次电子运动特性与LSI静态电容衬度分析

绝缘膜正常电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子......

学位

扫描电镜集成电路检测绝缘膜带电二次电子电容衬度

低能电子束照射集成电路芯片时的静态电容衬度分析

在研究低能电子束照射绝缘物时在二次电子返回特性的基础上 ,通过绝缘物表面照射微区和衬底之间的有效电容 ,获得了表面电位和二次......

期刊

电子照射绝缘物带电二次电子电容衬度扫描电镜集成电路检测

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