由于其特殊的结构,SOI（Silicon-on-insulator）材料具有优良的光学和电学性能,为超大规模集成电路（VLSI:Very Large Scale Integration......

光纤通信的基础是光电子技术，其大量的光-电-光转换在一方面利用了成熟而廉价的集成电路技术，另一方面却也受到电子瓶颈的影响而限制......

与传统材料不同,SOI特有的结构特点所带来的优势使其同时具有优异的光学性能和电学性能,且其工艺与CMOS工艺完全兼容,可以实现低成......