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电阻率稳定相关论文
硅外延片生产工艺技术研究
本文针对电子元器件生产厂商的需求,研制开发硅外延片生产工艺技术,解决批生产工艺问题。批量生产中的核心问题是产品参数控制的稳定......
学位
硅外延片
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电阻率稳定
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