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白光扫描干涉测量相关论文
磨削表面粗糙度白光干涉测量误差及修正方法
国防工业、航空航天、汽车制造、半导体和微电子工业等领域发展迅速,超精密加工零件的数量和质量需求都急剧增长,尤其是对零件表面......
学位
超精密磨削
白光扫描干涉测量
高频失真误差
表面粗糙度
误差修正算法
白光扫描干涉测量中的广义相关时延估计方法研究
白光扫描干涉测量是一种光学干涉测量方法。白光扫描干涉测量使用宽带光源照明,当物光与参考光之间的光程差小于光源的相干长度时发......
学位
白光扫描干涉测量
广义相关时延估计
光路系统
三维形貌测量
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