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皮拉尼气压传感器相关论文

基于二维材料的真空气压传感器设计与测试

设计、加工、测试了一种基于二维材料(MoS2)的小型化、微机电系统(MEMS)皮拉尼气压传感器,测试结果表明传感器有效测量范围10~10^4......

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真空传感二维材料二硫化钼皮拉尼气压传感器微机电系统 vacuum sensing two dimensional materials MoS 2 pir

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