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直接气相沉积相关论文
EB-PVD法制备微层材料的研究
简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细......
期刊
电子束物理气相沉积
微层材料
直接气相沉积
发展前景
EB - PVD
Microlaminated materials
Directed vapor de
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