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直流射频耦合放电相关论文
直流射频耦合放电及内表面注入等离子体鞘层数值模拟
管构件广泛应用于军事与工业等各领域中,为了提高其性能及使用寿命,人们常采用表面改性技术。等离子体浸没离子注入技术克服了传统......
学位
直流射频耦合放电
内表面注入
等离子体鞘层
数值模拟
表面改性
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