为了减少频域光学层析成像(spectral domain optical coherence tomography,SDOCT)中的噪声干扰,应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系......

只有解决了薄膜厚度的精确测量问题，才有可能解决薄膜的制备问题。光干涉计量测试技术以波长为计量单位，是一种公认的高精度计量测试......

为了减少频域光学层析成像（spectral domain optical coherence tomography, SDOCT）中的噪声干扰，应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系统......

为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,......