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环形抛光技术研究
现今许多大型系统需要大量的大口径高精度平面光学元件,在此类元件的加工中,环抛(Continuous Polishing)是一种非常重要的抛光技术,但......
学位
大口径光学元件
环形抛光
转速比
偏心距
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