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瞬态耗尽模型相关论文

利用后通硅烷法优化高速微晶硅薄膜的纵向结构

本文采用四极杆质谱对高速沉积硅薄膜过程中硅烷浓度的变化情况进行了在线监测,针对反应过程中的反向扩散现象进行了研究.结合硅烷......

期刊

微晶硅薄膜纵向结构四极杆质谱仪反应气体瞬态耗尽模型反向扩散均匀性薄膜厚度薄膜生长晶化率

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