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石墨烯折角可控场发射的研究
本文采用光刻,电感耦合等离子体刻蚀及湿法刻蚀等微加工工艺得到硅棱结构,硅棱顶部通过氧化削尖,并最终制作一层氧化绝缘层。然后转移......
会议
真空电子学
石墨烯折角
可控场发射
硅棱结构
加工工艺
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