石英微透镜相关论文
微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究张新宇易新建赵兴荣麦志洪何苗(华中理工大学光电子工程系武汉430074)刘鲁勤(航天部二院25所北京100584)利用扫描电子......
采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列,用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜,用湿法刻......
本文首次报道了利用微透镜阵列来提高YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的光响应特性,介绍了利用光刻/离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列......