硅包裹物相关硕士博士期刊学术论文

本文研究了物理气相传输方法(PVT)生长的SiC晶体缺陷.SiC晶体在熔融KOH腐蚀后,用光学显微镜和扫描电镜进行观察发现了新缺陷,包括4......