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硅基光栅耦合器相关论文
一种一步浅刻蚀的硅基光栅耦合器的设计与改进研究
自从2002年人们第一次在半导体芯片上成功制作了光栅耦合器后,光栅耦合器得到了人们广泛的研究,不过这些研究大多工艺复杂、成本较......
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硅基光子学
硅基光栅耦合器
光纤
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