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硅外延技术相关论文
CMOS硅外延技术与硅外延片
一、主要技术内容rnCMOS硅外延技术主要来源于“九五”国家重点科技攻关计划项目“亚微米、深亚微米CMOS电路用薄层外延硅材料”,......
期刊
硅外延技术
中国科学院
深亚微米
科技成果鉴定
项目编号
科技攻关
技术内容
计划项目
国家重点
微电子
硅材料
半导体
组织
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CMOS硅处延技术与硅外延片
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半导体器件
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