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硅微透镜阵列相关论文
用于红外焦平面的微透镜阵列单片制备技术
提出了离子束刻蚀制备微透镜阵列的工艺原理;研究了球面型光致抗蚀剂掩膜的形成过程以及硅微透镜离子束刻蚀的实验条件.表面探针测量......
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红外焦平面
硅微透镜阵列
单片式
红外探测器
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利用硅微透镜阵列的半导体激光器和光纤的阵列耦合
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