硅氧化物薄膜相关论文
SiOx基薄膜具有与当前CMOS半导体集成电路工艺兼容的先天优势,是新概念存储技术-RRAM的理想侯选材料,而当前国际上相关研究尚处在......
固定金属亲和捕捉(Immobilized Metal Affinity Capture,IMAC)蛋白质芯片是分离纯化蛋白质最有效的工具之一,与SELDI质谱检测技术相......
采用溶胶凝胶工艺并结合旋转涂布技术在Al基片上沉积硅氧化物薄膜,由扫描电镜(SEM)、投射电镜(TEM)、电子衍射(ED)、X射线能量散射......
以单晶硅片为靶材,高纯Ar和O2分别为溅射气体和反应气体,采用反应磁控溅射法在铝基体上制备了硅氧化物薄膜。由扫描电镜(SEM)、投射电......
为了获得性能良好的蛋白质芯片的固相载体,采用溶胶一凝胶工艺并结合旋转涂布技术在Al基片上沉积硅氧化物薄膜,考察了薄膜的表面形貌......