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用双离子束溅射法制备了SiOxNy薄膜,并对薄膜的结构和光致发光(PL)性质进行了研究。XRD和TEM的实验结果表明薄膜是非晶结构;用XPS......
用双离子束溅射法制备了SiOxNy薄膜，并对薄膜的结构和光致发光（PL）性质进行了研究。XRD和TEM的实验结果表明薄膜是非晶结构,用XPS对样......
