切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
硅源气体相关论文
沁阳高纯二氯硅烷项目开建硅气依赖进口局面结束
...
期刊
沁阳市
高纯二氯硅烷项目
硅源气体
投资
利税
产值
用于化学汽相淀积的硅源气体
本文述评了在化学汽相淀积中用于淀积单晶硅层、多晶硅、非晶硅、二氧化硅、氮化硅或硅化物的硅源气体的选择准则,并且详细地讨论......
期刊
化学汽相淀积
硅源气体
晶硅层
CVD硅源气体的杂的杂质及其对薄膜和器件性能的影响
...
期刊
CVD
硅源气体
杂质
半导体
化学汽相淀积用硅源气体
<正> 化学汽相淀积(CVD)用硅源气体通常有4种:硅烷(SiH_4);二氯硅烷(SiH_2Cl_2);三氯硅烷(SiHCl_3)和四氯化硅(SiCl_4)。硅烷是CVD......
期刊
硅源气体
化学
汽相沉积
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物