切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
硅烷混合气体相关论文
基于PIC/MCC方法的MEMS工艺中感应耦合等离子体仿真研究
等离子体加工工艺是集成电路制造过程中不可或缺的关键技术。射频电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)相比于其他等离......
学位
电感耦合等离子体
PIC/MCC模型
硅烷混合气体
FDTD方法
数值计算
射频容性耦合硅烷混合气体放电中等离子体化学的数值模拟
容性耦合硅烷混合气体放电在沉积与芯片相关的硅基薄膜中具有至关重要的作用。研究容性耦合硅烷等离子体特性以及其放电化学反应机......
学位
容性耦合等离子体
硅烷混合气体
尘埃等离子体
流体/MC模拟
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物