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硅片清洗液相关论文
一种新型的硅片研磨后清洗液
基于硅片研磨后清洗工艺的方法和原理,通过分析硅片在加工过程中污染物的种类和硅片表面的吸附性质,配制出由氢氧化钾、烷基苯磺酸......
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表面活性剂
烷基苯磺酸盐
硅片清洗液
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