碱性阻挡层抛光液相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

碱性阻挡层抛光液相关论文

新型碱性阻挡层抛光液在300mm铜布线平坦化中的应用

研发了一种新型碱性阻挡层抛光液,其不含通用的腐蚀抑制剂和不稳定的氧化剂（通常为H2O2）。Cu/Ta/TEOS去除速率和选择性实验结果表明,......

期刊

碱性阻挡层抛光液去除速率选择性碟形坑蚀坑 alkaline barrier slurry removal rate selectivity dishin

新型铜互连阻挡层材料Co的CMP研究

Co基扩散阻挡层对Cu具有良好的扩散阻挡性和粘附性,具有被应用于下一代铜互联阻挡层的潜力。但目前关于Co材料的化学机械抛光研究......

学位

化学机械抛光 Co阻挡层碱性阻挡层抛光液静态腐蚀电化学

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