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甲烷浓度对碳化硅基底金刚石薄膜摩擦性能影响
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在碳化硅基底上制备金刚石薄膜,采用场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、原子力显微镜研究了在不同......
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金刚石
甲烷浓度
摩擦磨损
热丝化学气相沉积
碳化硅基底
耐磨性
磨损率
摩擦系数
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