碳化硅过渡层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

碳化硅过渡层相关论文

SiC过渡层制备温度对SiCF-DLC复合薄膜血液相容性的影响

以316L不锈钢为基底,SiC晶体为靶材,Ar为源气体,采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层。然后以高纯石墨作靶,Ar和CHF3为......

学位

磁控溅射法碳化硅过渡层 F-DLC复合薄膜血液相容性薄膜附着力

碳化硅直接键合机理及其力学性能研究

随着碳化硅（Si C）材料的MEMS器件在恶劣环境测量中的应用前景和迫切需求,进行了碳化硅的直接键合实验。研究了工艺条件对键合样品力......

期刊

MEMS 碳化硅直接键合微观结构碳化硅过渡层粘性流动熔融键合

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