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碳纳米线碳化硅相关论文
在Si(111)上磁控溅射碳化硅薄膜的H2退火效应
用射频磁近溅射法在常温硅衬底上制备了碳化硅薄膜并研究了氢退火对薄膜的影响。用傅里叶红外透射谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)、X光电子......
期刊
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