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磁控溅射淀积相关论文
顶栅结构非晶态铟镓锌氧薄膜晶体管研究
薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)是平板显示(Flat PanelDisplay,FPD)技术的重要部分。随着大尺寸、高分辨率、3D显示技术的发......
学位
薄膜晶体管
顶栅铟镓锌氧化物
磁控溅射淀积
非晶态
自对准工艺
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