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磁控阴极溅射靶相关论文
磁控阴极溅射靶三维磁场的有限元分析
采用有限元元方法对磁控阴极溅射靶三维磁场进行了计算和分析,该装置是一种用于玻璃镀膜的永磁装置,主要由永磁体,铁磁材料和不锈钢板......
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